产品名称：UGAPM 系列过程监控系统

UGAPM 系列过程监测系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作范围为 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（约5x10 -5  mbar L/sec）连续采样气体，使仪器成为在线分析的理想选择。

UGAPM 应用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、真空热处理、靶材老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析（0.1 mL范围）等。

这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以从前面板或远程计算机进行控制。在 UGAPM 系统中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛细管来适应中真空采样。使用这种配置，处理室和分析仪之间的死体积几乎为零。

工作原理

UGAPM 系统使用单级毛细管减压入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的样气。在压力降低到大约10 -6  Torr之后，气流被送到质谱仪（残余气体分析仪——RGA），该质谱仪测量每个感兴趣的质量的浓度。

UGAPM Windows 软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。

多毛细管入口

可选的多入口阀具有两种可能的配置。一种是多通道配置，可适用于不同位置的一种特定样品压力。另一种是多量程配置，可适用于不同量程的样品压力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系统可以通过前面板或计算机进行控制。提供所有系统组件的手动或自动控制选择。

使用 UGAPM 软件测量和显示数据。直观的用户界面允许快速轻松地进行测量。实时捕获和显示数据，或计划在指定时间采集数据。

功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、气体库和在线帮助。

RGA 参数也可以通过上等 ASCII 命令等进行控制和监视。标准 RS-232和以太网接口用作您 PC 的数据链路。

*超值

UGAPM 分析仪提供目前可用的任何系统的*佳价值。它们提供更高的性能、更好的功能，并且价格远低于竞争对手。

UGAPM 规格
进口
类型	不锈钢毛细管，两个额外的2-3/4" CF 端口
流量	在应用压力下为10 -4至10 -5 Torr-L/sec
压力	可选择1 X 10 -3  mbar至 15 mbar
质谱仪
类型	四极杆 (RGA)
探测器	法拉第杯和电子倍增器
范围	100、200 或 300 原子质量单位 (amu)
解析度	在 10 % 峰高处优于 0.5 amu
检测限	<10 ppm 使用法拉第杯检测器，<1 ppm 使用电子倍增器
运营压力	FC 为10 -4 mbar ，CDEM为10 -6  mbar
连接
进样口	1/16" 或 1/8" 世伟洛克接头
排气	1/4" Tygon 管适配器
计算机	以太网或 RS-232C，DB9 连接器
力量	3针接地线
UGA软件
软件	Windows 应用程序。控制 UGAPM 系统，包括 RGA。
系统
泵	混合涡轮分子/阻力泵，81 升/秒。极限压力2 x 10 -9  mbar。极限压力小于 7 mbar 的隔膜泵。防护等级 IP44
材料
建造	SS304 和 SS316
绝缘子	氧化铝、陶瓷
密封件	Viton ®、丁腈橡胶和丁腈橡胶、铜垫片
各种各样的	铝，Tygon ®
一般的
启动时间	距句号 8 分钟
*大限度。环境温度。	35°C
电力需求	<600 W，110 V / 60 Hz或220 V / 50 Hz（不可现场选择）
方面	12" × 11" × 27" (WHL)
重量	75 磅

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